QPV高分辨率壓力調(diào)節(jié)器：提升濺射工藝精度的關(guān)鍵解決方案

濺射技術(shù)作為半導(dǎo)體制造和高性能光學(xué)領(lǐng)域的核心工藝，通過(guò)在真空環(huán)境中利用氬等離子體轟擊靶材，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)薄膜的均勻沉積。這一過(guò)程的成功高度依賴于等離子體穩(wěn)定性，而氬氣壓力與流量的控制精度直接決定了：

• 薄膜厚度的均勻性（影響器件導(dǎo)電/光學(xué)性能）

• 靶材利用率（關(guān)系生產(chǎn)成本）

• 涂層附著力（決定產(chǎn)品可靠性）

   

  傳統(tǒng)壓力控制方案常面臨等離子體密度波動(dòng)導(dǎo)致的三大痛點(diǎn)：

1. 膜層缺陷：壓力偏差引發(fā)粒子濺射軌跡改變，產(chǎn)生針孔或島狀生長(zhǎng)

2. 材料浪費(fèi)：非均勻侵蝕導(dǎo)致靶材利用率下降30%以上

3. 工藝不可重復(fù)：批次間參數(shù)漂移需頻繁調(diào)整制程配方

    

   QPV調(diào)節(jié)器如何重構(gòu)濺射工藝標(biāo)準(zhǔn)----突破性分辨率實(shí)現(xiàn)原子級(jí)沉積控制

QPV的±0.005%全量程分辨率（相當(dāng)于0-2英寸水柱量程下0.001英寸水柱的調(diào)節(jié)步長(zhǎng)），使氬氣壓力波動(dòng)控制在等離子體敏感閾值以內(nèi)。

集成PID控制算法與實(shí)時(shí)壓力反饋（±0.02%重復(fù)性），有效抵消：

• 真空泵抽速波動(dòng)

• 反應(yīng)氣體混合時(shí)的壓力振蕩

• 多腔體并聯(lián)時(shí)的交叉干擾

軍工級(jí)可靠性保障連續(xù)生產(chǎn) 25G抗振動(dòng)設(shè)計(jì)通過(guò)：

• 晶圓搬運(yùn)機(jī)械臂引起的脈動(dòng)

• 真空閥門切換時(shí)的壓力沖擊

• 7×24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行的疲勞累積

典型應(yīng)用場(chǎng)景與改裝靈活性

半導(dǎo)體前端制程

• 邏輯芯片：高k介質(zhì)沉積壓力控制±0.001PSI

• 存儲(chǔ)器件：3D NAND階梯覆蓋的定向?yàn)R射

光學(xué)鍍膜升級(jí)方案

• 抗反射鍍膜：多腔體同步壓力控制

• 柔性顯示：反應(yīng)濺射中Ar/O?混合比動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)

   

支持定制化改裝包括：

• 超高真空法蘭接口（CF/KF系列）

• 前饋控制模塊（應(yīng)對(duì)快速工藝配方切換）

• 多氣體混合控制套件

技術(shù)規(guī)格再進(jìn)化?

對(duì)于脈沖濺射等動(dòng)態(tài)工藝，建議選配我們的高速數(shù)字IO模塊，可實(shí)現(xiàn)與射頻電源的μs級(jí)同步。我們?yōu)闉R射工藝開(kāi)發(fā)者提供工藝診斷-參數(shù)優(yōu)化-系統(tǒng)集成全流程支持，如有需求，請(qǐng)聯(lián)系天津聯(lián)科思創(chuàng)科技發(fā)展有限公司。